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漢鐘螺桿真空泵特色
日期：2024-12-17 11:13
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摘要：
真空泵浦 (Vacuum Pump)也可寫為真空幫浦或是真空泵浦。漢鐘精機PS系列乾式螺旋真空泵浦乃是利用一對互相咬合的螺旋轉(zhuǎn)子 (圖一)，在轉(zhuǎn)子間維持微小的間隙，使得真空泵浦運轉(zhuǎn)時腔體內(nèi)無需潤滑，因而無油氣回漏污染的問題。透過專利轉(zhuǎn)子線形良好的密封效果，終極壓力可達(dá)7.5 × 10-3 Torr。螺旋式真空泵浦由於排氣路徑短，粉塵移除能力較其他型式的真空泵浦強，加上轉(zhuǎn)子表面披覆材質(zhì)的鍍膜，因此可適用於PECVD、Etching等嚴(yán)苛製程。
乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產(chǎn)品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準(zhǔn)
乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達(dá)性高
真空泵浦亦採用專利設(shè)計的水冷罐裝密封馬達(dá)，除了能維持更低的馬達(dá)運轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可避免製程氣體外漏的風(fēng)險。
3. 微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的性保護，十分適用於光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。
乾式真空泵浦 (Dry Vacuum Pump) 產(chǎn)品特色
1. 泵浦 (Pump) 溫度控制精準(zhǔn)
乾式螺旋真空泵浦，承襲上一代真空泵浦優(yōu)良的轉(zhuǎn)子設(shè)計，同時改善殼體的冷卻方式，採用水套間接水冷的方式來降低殼體的溫度，能夠更精準(zhǔn)地控制泵浦內(nèi)部溫度，減少沉積物的產(chǎn)生，增加真空泵浦 (Vacuum Pump)的壽命。
2. 密封馬達(dá)性高
真空泵浦亦採用專利設(shè)計的水冷罐裝密封馬達(dá)，除了能維持更低的馬達(dá)運轉(zhuǎn)溫度增加馬達(dá)的壽命外，也可避免製程氣體外漏的風(fēng)險。
3. 微電腦控制保護周全
真空泵浦亦可配備微電腦控制器，可同時監(jiān)控馬達(dá)電流、馬達(dá)溫度、殼體溫度、冷卻水流量、氮氣流量以及齒輪箱油位高低，提供真空泵浦完整的性保護，十分適用於光電、半導(dǎo)體、太陽能與TFT-LCD等產(chǎn)品穩(wěn)定性要求極高之產(chǎn)業(yè)。
